2.高溫再生
一般情況下，晶片制造沸石轉(zhuǎn)輪的再生溫度為180-200℃，在此溫度下，高沸點(diǎn)的二甘醇胺等物質(zhì)不能有效地從沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)脫附，從而逐漸積聚在滾筒內(nèi)。
通過(guò)對(duì)沸石轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)高沸點(diǎn)物質(zhì)聚集情況的研究，發(fā)現(xiàn)在沸石轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)運(yùn)行1個(gè)月后，滾筒內(nèi)的確存在較大數(shù)量的有機(jī)物聚集，其聚集量約為6wt%。經(jīng)有效高溫脫附后，有機(jī)物質(zhì)的積聚量可減少40%~60%左右。結(jié)果表明，高溫脫附能較好地去除沸石轉(zhuǎn)輪中高沸點(diǎn)有機(jī)物。
如果高溫脫附溫度選擇過(guò)高，則會(huì)對(duì)沸石分子篩的骨架結(jié)構(gòu)造成一定影響，從而影響分子篩的使用壽命。建議選用300℃左右高溫脫附，且相應(yīng)的沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)部配件均需采用可耐300℃高溫的密封配件。
3.再生洗滌
晶片制造工業(yè)中常用的有機(jī)材料一般都有很好的水溶性，可以用水洗再生的方法去除沸石轉(zhuǎn)輪中聚集的高沸物。
水洗再生能有效地提高沸石轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)的治理效率，對(duì)工廠而言，水洗再生次數(shù)達(dá)到4~6次/年時(shí)，治理效率可達(dá)95%~99%。所以，適當(dāng)增加定期水洗再生頻率，可以有效地防止沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)高沸點(diǎn)物質(zhì)的聚集，保持高治理效率。
分子篩在陶瓷纖維紙表面涂布，通常是用無(wú)機(jī)粘結(jié)劑來(lái)制作沸石轉(zhuǎn)輪，因此當(dāng)水洗時(shí)，不僅沸石分子篩不會(huì)出現(xiàn)龜裂變形，而且也不會(huì)出現(xiàn)因分子篩脫落而造成的性能下降，使用壽命縮短等問(wèn)題。
但水洗時(shí)要注意水質(zhì)狀況，如果水中含有大量的鈣、鎂等離子，就會(huì)在沸石內(nèi)部形成碳酸鹽，堵塞了沸石轉(zhuǎn)輪中的蜂窩狀孔道；水中微量重金屬物質(zhì)、氯等也會(huì)對(duì)沸石造成毒化。
需要指出的是，并非所有沸石轉(zhuǎn)輪材料都耐水洗，企業(yè)在水洗再生前，應(yīng)向沸石轉(zhuǎn)輪設(shè)備制造商做好相關(guān)咨詢工作。
4.高壓空氣凈化裝置
各企業(yè)在停機(jī)檢維修期間，采用高壓空氣吹掃沸石轉(zhuǎn)輪。但由于VOCs有機(jī)物通常吸附在分子篩孔洞內(nèi)，不能被有效地去除，因此菊恩實(shí)業(yè)小編建議需要選用高壓空氣吹掃來(lái)清除沸石轉(zhuǎn)輪表面附著的塵埃，并應(yīng)與上述處理方法配合使用。
